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你知道鍍鋅風(fēng)管有什么類型嗎?下面上海通風(fēng)管道廠家介紹以下幾種類型
(1)一般排氣:其來(lái)源于機(jī)臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)熱產(chǎn)生不含有害物質(zhì)或是高溫氣體,但考慮無(wú)塵室空調(diào)負(fù)荷與過(guò)濾裝置負(fù)荷,因此將廢氣以一般風(fēng)車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。注:GEX采用鍍鋅螺旋風(fēng)管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、堿排(AEX)系統(tǒng)流程:
(2)酸堿性排氣:其主要來(lái)源于化學(xué)清洗工作站,清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體,故須經(jīng)過(guò)Scrubber中水洗中和處理,再由風(fēng)機(jī)排入大氣。
(3)有機(jī)溶劑排氣:其主要來(lái)源于涂膠、顯影工序和各工序使用有機(jī)溶劑清洗過(guò)程時(shí)所產(chǎn)生,需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后,再由風(fēng)機(jī)排入大氣。
(4)堿性剝離排氣:主要來(lái)源為陣列工程的剝離工序所使用之剝離液,廢氣經(jīng)過(guò)冷凝吸收器,將廢氣中的剝離液冷卻下來(lái),冷凝器吸收處理后的廢氣所含的廢氣濃度會(huì)大為下降,然后送至Central Scrubber做水洗中和處理,再由風(fēng)機(jī)排大氣。
(5)應(yīng)急排氣:當(dāng)潔凈室機(jī)臺(tái)端風(fēng)管內(nèi)探頭感應(yīng)氣體濃度過(guò)高時(shí),緊急啟用以使生產(chǎn)正常并維持室內(nèi)環(huán)境。
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